氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）；氦质谱检漏仪优势特点：1.采用便携式设计，2.设备外型美观小巧，3.采用液晶触摸屏设计，4.有通讯接口，5.可以方便地将检漏数据输出氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。
氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦质谱检漏仪的特点：检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择：无害，不能对人体或环境造成伤害;质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝;化学性质稳定，不会引起化学反应;氦质谱检漏仪优势特点：1.采用便携式设计，2.设备外型美观小巧，3.采用液晶触摸屏设计，4.有通讯接口，5.可以方便地将检漏数据输出氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。
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